[发明专利]电子束装置和使用其的图像显示装置

摘要

本申请涉及电子束装置和使用它的图像显示装置。通过适当地维持栅极(5)的膜厚h与从绝缘部件(3)的外表面到凹部(7)的内表面的距离L之间的关系，抑制由操作电子发射器件时产生的库仑力导致的栅极(5)的变形。据此，在具有叠层型电子发射器件的电子束装置中，防止栅极的变形以减少电子发射特性的变化，由此防止元件被破坏。

主权项

一种电子束装置，包括：在其表面上具有凹部的绝缘部件；位于绝缘部件的表面上的栅极；具有从凹部的边缘向栅极突起的突起部分的阴极，该突起部分位于绝缘部件的表面上以与栅极相对；和被配置为与突起部分相对的阳极，栅极被插入突起部分和阳极之间，其中，满足以下的条件：L/h≤0.8×((2×d3×Y)/(27×c1×ε0×(d×X/T2)×Vf2))1.0/3，和2.7×T2≤L，这里，ε0[F/m]是真空介电常数，Y[Pa]是栅极的杨氏模量，Vf[V]是在栅极和阴极之间施加的电压，d[m]是栅极和阴极的突起部分之间的最小距离，dav[m]是栅极和阴极的突起部分之间的距离的平均值，负载系数c1＝0.94×(d/dav)1.78，h[m]是栅极的膜厚，T2[m]是绝缘部件的具有凹部的部分的厚度，L[m]是从栅极的外表面到凹部的内表面的距离，和X[m]是阴极进入凹部的进入距离。