[发明专利]大功率LED用蓝宝石基片超精密加工技术无效
| 申请号： | 201010172868.1 | 申请日： | 2010-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN102233541A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 周海 | 申请（专利权）人： | 周海 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224051 江苏省盐城市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及光电子器件的加工方法技术领域，尤其是一种制备大功率发光二极管(LED)氮化镓(GaN)所用的蓝宝石衬底基片的超精密加工技术，该技术主要包含蓝宝石塑性域磨削技术、蓝宝石纳米级化学机械抛光技术；本发明还涉及蓝宝石衬底基片加工过程中使用的专用腐蚀液和抛光液，所述的专用腐蚀液由：硫酸、磷酸、硝酸构成；专用抛光液则由溶胶型SiO2、聚氧乙烯、橄榄油、醇胺以及去离子水构成。该技术能够制备无损伤层的、晶格完整的蓝宝石衬底，表面粗糙度达到0.2纳米以下，满足制造大功率发光二极管中氮化镓外延生长所需的蓝宝石衬底质量要求。 | ||
| 搜索关键词： | 大功率 led 蓝宝石 基片超 精密 加工 技术 | ||
【主权项】：
大功率LED用蓝宝石基片超精密加工技术，其特征在于蓝宝石基片超精密加工技术由塑性域磨削技术、化学方法基片平整化处理技术、纳米级化学机械抛光技术组成。
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