[发明专利]激光加工方法及激光加工装置有效
| 申请号： | 201010170722.3 | 申请日： | 2010-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101875156A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 福原健司;清水政二;山本幸司 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/06;C03B33/02;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府吹田*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是有关一种激光加工方法及激光加工装置，即使在将玻璃基板等脆性材料基板以脉冲激光消熔加工的场合，在加工部分亦不易产生缺陷、裂痕等，可将加工后的端面强度维持为高。此加工方法包含：将脉冲激光聚光后对脆性材料基板表面照射的激光照射步骤；沿划线预定线扫瞄前述激光的激光扫瞄步骤；前述脉冲激光的激光强度是1.0×108以上1.0×1010W/cm2以下；热输入量(J/cm2)×脆性材料的线膨胀系数(10-7/K)的值为3000以上10000以下的范围；外接于前述脉冲激光的聚光径的正方形内的脉冲数为2脉冲以上。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种激光加工方法，沿脆性材料基板表面的划线预定线照射激光以形成划线槽，其特征在于：包含：将脉冲激光聚光后照射于脆性材料基板表面的激光照射步骤；以及沿划线预定线扫瞄前述激光的激光扫瞄步骤；前述脉冲激光的激光强度为1.0×108以上1.0×1010W/cm2以下；热输入量(J/cm2)×脆性材料的线膨胀系数(10-7/K)的值为3000以上10000以下的范围；外接于前述脉冲激光的聚光径的正方形内的脉冲数为2脉冲以上。
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