[发明专利]一种二极管芯片的清洗工艺无效
| 申请号： | 201010168264.X | 申请日： | 2010-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101845638A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 王毅;陈晓华 | 申请（专利权）人： | 扬州扬杰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/02 | 分类号： | C23G1/02;C23G1/14;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 奚衡宝 |
| 地址： | 225008 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种二极管芯片的清洗工艺。涉及清洗工艺中所用清洗液配方的改进。能进一步减少芯片侧表面金属离子，从而避免芯片在工作中会出现“爬电”现象。依次包括混酸洗、双磷洗和氨洗，氨洗时的清洗液包括氨水、水和双氧水，它们的重量比是氨水1份∶水2-3.5份∶双氧水0.15-0.3份。与以往的配方相比，本发明在氨洗液中加入了双氧水，在充分混合的情况下通过下酸管道下到酸洗盘上，酸液没过上钉头(相当于芯片上端面的夹具部件)使得反应充分，进而能使芯片侧表面的金属杂质去除得更加彻底，材料在高温下使用更加稳定，降低由于表面漏电的偏大而导致材料电性的不稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二极管 芯片 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
一种二极管芯片的清洗工艺，依次包括混酸洗、双磷洗和氨洗，其特征在于，所述氨洗时的清洗液包括氨水、水和双氧水，它们的重量比是氨水1份∶水2-3.5份∶双氧水0.15-0.3份。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于扬州扬杰电子科技有限公司，未经扬州扬杰电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010168264.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种针织衫的制造方法
- 下一篇：一种缓释型金属气相防锈剂的制备方法
