[发明专利]多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法有效
| 申请号： | 201010161178.6 | 申请日： | 2010-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN101818328A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 郭廷玮;夏建业;范利宁 | 申请（专利权）人： | 常州博士新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C23C14/35 |
| 代理公司： | 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 | 代理人： | 夏海初 |
| 地址： | 213101 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法，所述多层复合太阳能选择性吸收镀层，包括设置在玻璃基底表面由内而外依次布置的金属铝红外反射层(1)，TiN氮化钛阻热扩散层(2)，TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层(3)，以其制备方法依次包括溅射沉积铝红外反射层(1)，TiN阻热扩散层(2)和TiNxOy选择性吸收层(3)为主要特征，还包括在选择性吸收层(3)表面反应溅射沉积Al2O3减反射保护层(4)。具有制备方法合理，制成品质量好，生产成本低等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 复合 太阳能 选择性 吸收 镀层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法，所述多层复合太阳能选择性吸收镀层，包括设置在玻璃基底表面由内而外依次布置的金属铝红外反射层(1)，TiN氮化钛阻热扩散层(2)，TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层(3)，其特征在于，该所述吸收镀层的制备方法依次包括如下步骤：a、将经预处理的玻璃基体置入磁控溅射镀膜机的真空镀膜室中，抽真空至8.5×10-3Pa后，通入氩气令真空镀膜室内压为0.1Pa，启动金属Al靶，在玻璃基体表面非反应溅射沉积金属铝红外反射层(1)；b、启动Ti靶，且在Ar气和N气二者的混合气体中，在金属铝红外反射层(1)表面，反应溅射沉积TiN阻热扩散层(2)；c、启动Ti靶，且在Ar气、N气和O氧气三者的混合气体中，在TiN阻热扩散层(2)表面，反应溅射沉积TiNxOy选择性吸收层(3)；所述金属铝红外、反射层(1)、TiN阻热扩散层(2)和TiNxOy选择性吸收层(3)三者的镀层厚度，可通过溅射沉积的时间来掌控；所述TiNxOy选择性吸收层(3)的TiNxOy中的N氮和O氧含量，可通过所述氩Ar气、N氮气和O氧气三者的混合气体中N氮和O氧的含量来掌控；
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