[发明专利]溅镀装置及溅镀方法无效
| 申请号： | 201010161107.6 | 申请日： | 2010-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN102234770A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种溅镀装置，其具有第一腔体及第二腔体，该第一腔体用来对待镀工件进行预热，该第二腔体用来对待镀工件进行溅镀，该第一腔体与第二腔体通过一通道相互连通，在该通道内设置有一阀门用来控制该通道的开启与关闭，在该第一腔体及第二腔体内分别设置有具有相同结构的料杆固定架，该料杆固定架用来承载装载有待镀工件的料杆，该料杆能够在机械手的作用下经由该通道在该第一腔体以及第二腔体内的料杆固定架之间进行传送。与现有技术相比，本发明提供的该溅镀装置通过设置两个腔体来分别对待镀工件进行预热作业及溅镀作业，并通过机械手在两个腔体内运送待镀工件，从而避免了溅镀腔内靶材被空气氧化的缺陷。本发明还涉及一种溅镀方法。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种溅镀装置，其用来对待镀工件镀膜，其特征在于：该溅镀装置具有第一腔体、第二腔体以及传动机构，该第一腔体用来对待镀工件进行预热，该第二腔体用来对待镀工件进行溅镀，该第一腔体与第二腔体通过一通道相互连通，在该通道内设置有一阀门用来控制该通道的开启与关闭，在该第一腔体及第二腔体内分别设置有相同结构的料杆固定架，该料杆固定架用来承载装载有待镀工件的料杆，该料杆能够在该传动机构的作用下经由该通道在该第一腔体以及第二腔体内的料杆固定架之间进行传送。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010161107.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于M2M平台的有序收发消息的方法及装置
- 下一篇：一种组合式锅子
- 同类专利
- 专利分类
