[发明专利]溅镀装置及溅镀方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种溅镀装置及溅镀方法，尤其是一种具有双腔体的溅镀装置及溅镀方法。

背景技术

目前，在对塑料或者金属外壳表面进行镀膜一般都采用物理气相沉积法(PVD)进行镀膜制程，常见的采用物理气相沉积法进行镀膜的溅镀装置一般都具有单一腔体。

使用具有单一腔体的溅镀装置进行溅镀时，首先打开腔体将待镀工件置于该腔体内，然后关闭腔体阀门并对该腔体进行抽真空，抽完真空后对放置于该腔体内的待镀工件进行加热，加热完成后开始对该待镀工件进行溅镀制程。当溅镀完成后，需要将腔体门打开以便将完成镀膜的待镀工件拿出，此时由于腔体门处于开启状态，外部空气就会进入到镀膜腔体中，这样设置于该腔体内的靶材就会很容易被进入腔体内的氧气所氧化，从而对下一次的溅镀制程产生影响。而且，当进行下一次溅镀制程时，还要再一次进行抽真空、加热待镀工件等过程，这样就会使得整个溅镀制程较为费时，并且影响产品质量。

发明内容

有鉴于此，提供一种能够避免上述情况出现的溅镀装置及溅镀方法实为必要。

一种溅镀装置，其用来对待镀工件镀膜，该溅镀装置具有第一腔体、第二腔体以及传动机构，该第一腔体用来对待镀工件进行预热，该第二腔体用来对待镀工件进行溅镀，该第一腔体与第二腔体通过一通道相互连通，在该通道内设置有一阀门用来控制该通道的开启与关闭，在该第一腔体及第二腔体内分别设置有相同结构的料杆固定架，该料杆固定架用来承载装载有待镀工件的料杆，该料杆能够在该传动机构的作用下经由该通道在该第一腔体以及第二腔体内的料杆固定架之间进行传送。

一种溅镀方法，其包括如下步骤：提供一个如上所述的溅镀装置；将承载有待镀工件的料杆装设在该第一腔体内的料杆固定架上，对该第一腔体进行抽真空；对第一腔体内的待镀工件进行预热作业；将完成预热作业的待镀工件经由该第一腔体与第二腔体之间的通道逐个传送到第二腔体内并固定到第二腔体内的料杆固定架上；关闭该第一腔体与第二腔体之间的通道，对第二腔体内的待镀工件进行溅镀作业；开启该第一腔体与第二腔体之间的通道，将第二腔体内完成溅镀作业的待镀工件传送至第一腔体内；关闭该第一腔体与第二腔体之间的通道以保持该第二腔体内的真空状态，取走第一腔体内完成溅镀作业的待镀工件并放入第二批待镀工件。

与现有技术相比，本发明提供的该溅镀装置通过设置两个腔体来分别对待镀工件进行预热作业及溅镀作业，并通过机械手在两个腔体内运送待镀工件，从而避免了溅镀腔内靶材被空气氧化的缺陷，同时提高了溅镀制程的效率。

附图说明

图1是本发明实施例所提供的溅镀装置的结构示意图，其包括料杆和料杆固定架。

图2是本发明实施例所提供的溅镀装置在进行料杆运输的状态示意图。

图3是本发明实施例所提供的溅镀装置在预热或者溅镀过程中料杆固定架与料杆的转动示意图。

图4是图3中IV部分的放大图。

图5是图3中V部分的放大图。

主要元件符号说明

溅镀装置            100

第一腔体            10

第二腔体            20

第一旋转架          30

料杆                31

凸杆                311

悬挂架              312

料杆固定架          32

上承载盘            321

定位槽              3211

下承载盘            322

定位座              3221

空心凸柱            3222

卡槽                3223

支撑杆              323

第二旋转架          40

机械手              50

通道                60

阀门                61

具体实施方式

请一并参阅图1至图5，本发明实施例提供的该溅镀装置100，其包括第一腔体10、第二腔体20、第一旋转架30、第二旋转架40及机械手50。

该第一腔体10用来对待镀工件进行预热，该第二腔体20用来对在该第一腔体10内完成预热制程的待镀工件进行溅镀。