[发明专利]溅镀装置及溅镀方法无效
| 申请号： | 201010161106.1 | 申请日： | 2010-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN102234769A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 凌维成 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种溅镀装置，其包括用来承载装载有待镀工件的料杆的料杆固定架，其中，该料杆的一端沿径向生长有凸杆，该料杆固定架设置有定位座，该定位座具有一用来收容该料杆生长有凸杆的一端的空心凸柱及连杆机构，该定位座通过该连杆机构对该料杆进行固定并带动该料杆进行自转。与现有技术相比，该溅镀装置通过连杆机构来对料杆进行固定，使得料杆能够快速的进行安装或者拆卸，从而大大提高了溅镀制程的效率。本发明还涉及一种溅镀方法。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种溅镀装置，其用来对待镀工件镀膜，该溅镀装置具有料杆固定架，该料杆固定架用来承载装载有待镀工件的料杆，其特征在于：该料杆的一端沿该料杆径向生长有凸杆，该料杆固定架设置有定位座，该定位座包括一个空心凸柱和连杆机构，该空心凸柱用来收容该料杆生长有凸杆的一端，该连杆机构具有主动杆、传动杆及被动杆，其中该传动杆铰接固定在该空心凸柱上，该主动杆位于该空心凸柱的内部，并且该主动杆及被动杆分别铰接在该传动杆的两端，该料杆对该主动杆施力使该传动杆带动该被动杆运动以使得该被动杆与该凸杆相互交叉。
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