[发明专利]溅镀装置及溅镀方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种溅镀装置及溅镀方法。

背景技术

目前，在对塑料或者金属外壳表面进行镀膜一般都采用物理气相沉积法(PVD)进行镀膜制程，在镀膜制程中，承载被镀工件的承载架一般都会带动被镀工件进行旋转，这样可以使得被镀工件能够被充分溅镀。优选的，一般在承载架上还会设置一个自转装置，将被镀工件固定在该自转装置上以使得在该承载架在带动被动工件进行公转的同时，该自转装置带动被镀工件进行自转，通过这样的结构能够更加完全的对被镀工件进行溅镀。

在自转装置带动被镀工件进行自转的制程中，一般不但需要被镀工件能够良好的固定在自转装置上，并且还要求被镀工件在开始溅镀或者完成溅镀时能够快速的拆卸以节省整个制程的时间，尤其当需要大量的被镀工件需要在多个承载架之间进行传输时，如何使得被镀工件能够快速的从一个自转装置上拆卸并且良好的固定到另一个自转装置上关系到整个制程的效率。

发明内容

有鉴于此，提供一种能够避免上述情况出现的溅镀装置及溅镀方法实为必要。

一种溅镀装置，其用来对待镀工件镀膜，该溅镀装置具有料杆固定架，该料杆固定架用来承载装载有待镀工件的料杆，该料杆的一端沿料杆径向生长有凸杆，该料杆固定架设置有定位座，该定位座包括一个空心凸柱和连杆机构，该空心凸柱用来收容该料杆生长有凸杆的一端，该连杆机构具有主动杆、传动杆及被动杆，其中该传动杆铰接固定在该空心凸柱上，该主动杆位于该空心凸柱的内部，并且该主动杆及被动杆分别铰接在该传动杆的两端，该料杆对该主动杆施力使该传动杆带动该被动杆运动以使得该被动杆与该凸杆相互交叉。

优选的，该溅镀装置进一步包括第一腔体、第二腔体以及传动机构，该第一腔体用来对待镀工件进行预热，该第二腔体用来对待镀工件进行溅镀，该第一腔体与第二腔体通过一通道相互连通，在该通道内设置有一阀门用来控制该通道的开启与关闭，在该第一腔体及第二腔体内分别设置有如上所述的料杆固定架，该料杆能够在该传动机构的作用下经由该通道在该第一腔体以及第二腔体内的料杆固定架之间进行传送。

一种溅镀方法，其包括如下步骤：提供一个如上所述的溅镀装置；将承载有待镀工件的料杆装设在该第一腔体内的料杆固定架上，对该第一腔体进行抽真空；对第一腔体内的待镀工件进行预热作业；将完成预热作业的待镀工件经由该第一腔体与第二腔体之间的通道逐个传送到第二腔体内并固定到第二腔体内的料杆固定架上；关闭该第一腔体与第二腔体之间的通道，对第二腔体内的待镀工件进行溅镀作业；开启该第一腔体与第二腔体之间的通道，将第二腔体内完成溅镀作业的待镀工件传送至第一腔体内；关闭该第一腔体与第二腔体之间的通道以保持该第二腔体内的真空状态，取走第一腔体内完成溅镀作业的待镀工件并放入第二批待镀工件。

与现有技术相比，本发明提供的该溅镀装置在料杆固定架上设置了一个具有连杆机构的定位座，该定位座用来对承载有被镀工件的料杆进行固定，当将一端带有凸杆的料杆装入该定位座内时，通过连动关系使连杆机构中的被动杆与料杆的凸杆相互交叉，定位座通过该相互交叉的被动杆与料杆凸杆来带动料杆进行自转。

更进一步的，在本发明的优选方案中，该溅镀装置具有两个腔体分别用来对待镀工件进行预热作业及溅镀作业，该两个腔体中都设置有具有上述定位座的料杆固定架，待镀工件通过机械手在两个腔体内的料杆固定架中进行传送，由于该料杆固定架中的定位座与料杆之间能够快速的进行安装及拆卸，使得本发明所提供的该溅镀装置的溅镀效率进一步得到提高。

附图说明

图1是本发明实施例所提供的溅镀装置的结构示意图，其包括料杆和料杆固定架。

图2是本发明实施例所提供的溅镀装置在进行料杆运输的状态示意图。

图3是本发明实施例所提供的溅镀装置在预热或者溅镀过程中料杆固定架与料杆的转动示意图。

图4是图3中IV部分的放大图。

图5是图3中V部分的放大图。

图6是图5的剖视图。

主要元件符号说明

溅镀装置                100

第一腔体                10

第二腔体                20

第一旋转架              30

料杆                    31

凸杆                    311

悬挂架                  312

料杆固定架              32