[发明专利]激光空泡空化的光电化学三维加工方法及装置有效
| 申请号： | 201010158801.2 | 申请日： | 2010-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101856753A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张朝阳;张永康;陈飞;王耀民;鲁金忠;顾永玉 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | B23H5/00 | 分类号： | B23H5/00;B23H3/04;B23K26/00;B23K26/04;B23K26/06;B23K26/42 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212013 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种激光空泡空化的光电化学三维加工方法及装置，属于制造技术的特种复合加工领域。该方法利用激光束照射在溶液中工件表面产生气泡后，由于气泡溃灭形成的空泡空化作用与电化学反应复合，使得工件材料在光电化学反应作用下被去除，实现刻蚀加工，装置中由计算机控制灰度图形显示的液晶屏作为掩模板，当激光束通过该液晶掩模时，产生具有灰度特征的图像对激光光斑内能量分布进行空间调制。工件上激光辐照能量高的区域，空泡空化作用强，光电化学反应速度快，蚀除量大；能量低的区域，与之相反，从而实现三维立体图形的加工。本发明适用于导电金属材料的去除加工，通过计算机控制液晶掩模的灰度图形显示，能够显著提高复杂三维图形的加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 空泡 光电 化学 三维 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种激光空泡空化的光电化学三维加工方法，利用激光在电极表面辐照引起的光电化学反应实现工件材料的去除加工，其特征在于：激光器所发出的激光束通过掩模板后透过溶液辐照在金属工件表面时，造成溶液光学击穿产生气泡，气泡溃灭形成空泡空化的脉冲冲击作用与电化学反应复合，使得工件材料在光电化学反应作用下被去除，实现刻蚀加工。
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