[发明专利]镀膜装置无效
| 申请号： | 201010147631.8 | 申请日： | 2010-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN102220555A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 裴绍凯 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜装置，其包括两个镀膜腔室、一个隔板、一个蒸镀源、一个溅镀靶材、两个承载板及两个驱动装置。隔板设置于两个镀膜腔室之间，其开设有一个连通两个镀膜腔室的镀膜口。蒸镀源与镀膜靶材分别相对于隔板设置在两个镀膜腔室内。两个承载板设置于其中一个镀膜腔室内且关于镀膜口对称地、转动地连接于隔板。每个承载板开设有一个与镀膜口形状及大小匹配的承载槽，用于承载一个基材。每个驱动装置用于驱动对应一个承载板在对应的一个第一镀膜位置及一个第二镀膜位置之间转动。承载板位于对应的第一镀膜位置时，承载槽与隔板相背。承载板位于对应的第二镀膜位置时，承载槽与隔板相对，且与镀膜口对齐连通。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜装置，其特征在于包括两个镀膜腔室、一个隔板、一个蒸镀源、一个溅镀靶材、两个承载板及两个驱动装置；该隔板设置于该两个镀膜腔室之间，其开设有一个连通该两个镀膜腔室的镀膜口；该蒸镀源与该镀膜靶材分别相对于该隔板设置在该两个镀膜腔室内；该两个承载板设置于其中一个镀膜腔室内且关于该镀膜口对称地、转动地连接于该隔板；每个承载板开设有一个与该镀膜口形状及大小匹配的承载槽，用于承载一个基材；每个驱动装置用于驱动对应一个承载板在对应的一个第一镀膜位置及一个第二镀膜位置之间转动；该承载板位于对应的第一镀膜位置时，该承载槽与该隔板相背；该承载板位于对应的第二镀膜位置时，该承载槽与该隔板相对，且与该镀膜口对齐连通。
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