[发明专利]大口径非球面反射镜顶点曲率半径的检测装置和方法无效
申请号: | 201010144825.2 | 申请日: | 2010-04-13 |
公开(公告)号: | CN101819017A | 公开(公告)日: | 2010-09-01 |
发明(设计)人: | 陈宝刚;王建立;杨飞;明名;林旭东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B5/213 | 分类号: | G01B5/213 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 王立伟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种大口径非球面反射镜顶点曲率半径的检测装置和方法,其装置包括组合测杆、测微头、顶点测量基准转换器和支撑架。顶点测量基准转换器安装在主镜中心孔内,测微头安装在组合测杆的两端,组合测杆通过支撑架支撑安装在主镜光轴上。测量前首先采用高精度的测量仪器标定该装置,测量时调整该装置,通过测量最后计算出测量结果。本发明不仅可以用于非球面主镜加工的在线检测,而且可以实现光学系统装调时保证主次镜间距。本发明测量精度高,使用简单方便,效率高,重复性好,避免了采用昂贵的大尺寸测量仪器,简化了测量系统的配置,降低了检测成本。适合于大光学加工企业、科研院所和检测计量单位使用。 | ||
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【主权项】:
一种大口径非球面反射镜顶点曲率半径的检测装置,其特征在于该装置包括前测微头(2)、组合测杆(3)、后测微头(4)、顶点测量基准转换器(5)和支撑架(6);各部分的位置及连接关系:顶点测量基准转换器(5)安装在主镜(7)中心孔内,前测微头(2)和后测微头(4)分别安装在组合测杆(3)的两端,且测微头测量线与组合测杆(3)同轴,组合测杆(3)安装在被测主镜的主光轴上,支撑架(6)支撑组合测杆(3)和检测装置。
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