[发明专利]衬底贴合设备和方法有效
| 申请号： | 201010144626.1 | 申请日： | 2008-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN101813847A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 黄载锡;黄甫成权 | 申请（专利权）人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;B32B38/18 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种衬底贴合设备，包括：第一室，第一室包括第一表面板，在第一表面板上接收第一衬底；表面板升降机，用于升起第一表面板；第二室，第二室包括第二表面板，在第二表面板上接收待贴合于第一衬底的第二衬底；至少一处胶粘剂，包含于第一表面板用来附着到第一衬底；以及胶粘剂升降机，用于独立地升起胶粘剂。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 贴合 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种衬底卡盘，包括：表面板，包括用于附着衬底的胶粘剂；以及分离单元，设置在所述表面板上，用来使所述衬底从所述表面板分离。
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