[发明专利]熔融盐浴、制备所述熔融盐浴的方法和钨膜有效
| 申请号： | 201010144239.8 | 申请日： | 2010-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN101845643A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 新田耕司;真岛正利;稻沢信二 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00;C25D13/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈海涛;樊卫民 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种熔融盐浴，其含有钨且具有100ppm以下的含水量和500ppm以下的含铁量。本发明还提供制备所述熔融盐浴的方法和钨膜，由所述熔融盐浴能够稳定地沉积高品质的钨。 | ||
| 搜索关键词： | 熔融 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种含钨的熔融盐浴，所述熔融盐浴的含水量为100ppm以下，含铁量为500ppm以下。
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