[发明专利]高精密温度控制装置及其参数自整定方法有效
| 申请号： | 201010143659.4 | 申请日： | 2010-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN102213964A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 罗晋;余小虎;金敏;余斌;聂宏飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20;G05B11/42 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种高精密温度控制装置及其参数自整定方法，所述装置包括：液槽；加热器，位于所述液槽内；至少一个流量传感器或至少一个压力传感器，位于所述循环部分的管路上；液位传感器，位于所述液槽内，且位于所述加热器一侧；流量泵，和液槽相连；至少一个温度传感器，位于液槽内或液槽的输出管路上；制冷器，和所述液槽相连；控制部分，包括控制器和触摸屏，控制器和触摸屏相连，控制器和加热器、第一传感器、液位传感器、温度传感器、制冷器分别相连。本发明提供的装置和方法解决了温控参数与实际工况的匹配问题，扩展了温度控制设备的应用范围，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 温度 控制 装置 及其 参数 方法 | ||
【主权项】：
一种高精密温度控制装置，包括：循环部分，所述循环部分包括：液槽；加热器，位于所述液槽内；至少一个第一传感器，所述第一传感器为流量传感器或压力传感器，位于所述循环部分的管路上；液位传感器，位于所述液槽内，且位于所述加热器一侧；流量泵，和所述液槽相连；至少一个温度传感器，位于所述液槽内或所述液槽的输出管路上；冷却部分，所述冷却部分包括：制冷器，所述制冷器和所述液槽相连；其特征在于：所述高精密温度控制装置还包括控制部分，所述控制部分包括控制器和触摸屏，所述控制器和所述触摸屏相连，所述控制器和所述加热器、所述第一传感器、所述液位传感器、所述温度传感器、所述制冷器分别相连。
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