[发明专利]光束照射装置以及位置检测装置

摘要

本发明提供一种光束照射装置，由简单的结构能够精度良好地检测目标区域的激光的扫描位置。在光束照射装置中，从激光光源射出的激光入射至反射镜。执行器通过使激光入射的反射镜转动在目标区域扫描激光。另一方面，从半导体激光器(303)射出的伺服光入射至全息元件(200)。全息元件(200)随着反射镜的转动而进行转动，并在出射面设定衍射图案。光检测器(309)对透过全息元件(200)之后的伺服光进行接收，输出对应于该接收位置的信号。这样，由于入射至光检测器(309)的伺服光的扫描宽度变宽，因此可精度良好地检测光检测器(309)上的伺服光的接收位置。其结果，也能精度良好地检测目标区域的激光的扫描位置。

主权项

一种光束照射装置，其特征在于，具有：激光光源，其射出激光；执行器，通过使入射所述激光的光学元件转动，在目标区域使激光进行扫描；伺服光源，其射出伺服光；透明体，其随着所述光学元件的转动进行转动，并且入射所述伺服光；光检测器，其对透过所述透明体的所述伺服光进行接收，从而输出对应于该接收位置的信号；以及衍射部，其与所述透明体一起进行转动，并且在所述透明体的转动方向上衍射所述伺服光。