[发明专利]光学多环扫描元件有效
申请号: | 201010124864.6 | 申请日: | 2010-03-01 |
公开(公告)号: | CN102193189A | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 周明杰;张平;李鸿忠;陈重德 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;H02K33/16 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种光学多环扫描元件,包含一基板、一外环驱动元件、至少一内环驱动元件及一镜面,该外环驱动元件设置于该基板内,该外环驱动元件左右两侧对称设有第一扭转臂连接于该基板,该至少一内环驱动元件包括一第一内环驱动元件,该第一内环驱动元件设置于该外环驱动元件内,该第一内环驱动元件上下两侧对称设有第二扭转臂连接于该外环驱动元件,该镜面设置于该第一内环驱动元件内,该镜面上下两侧对称各设有一第三扭转臂连接于该内环驱动元件,该第三扭转臂与该第二扭转臂同轴,该第一扭转臂垂直于该第二扭转臂及第三扭转臂。 | ||
搜索关键词: | 光学 扫描 元件 | ||
【主权项】:
一种光学多环扫描元件,其特征在于,包含:一基板,该基板具有一第一透空部,该基板具有相互垂直的一第一轴方向以及一第二轴方向;一外环驱动元件,设置于该第一透空部内,且该外环驱动元件具有一第二透空部,该外环驱动元件两侧对称各设有一第一扭转臂连接于该基板,该二个第一扭转臂具有一第一延伸方向,且该第一延伸方向平行于该第一轴方向;至少一内环驱动元件,其包括一第一内环驱动元件,该第一内环驱动元件设置于该第二透空部内,且该第一内环驱动元件具有一第三透空部,在该第一内环驱动元件的两侧对称各设有一第二扭转臂连接于该外环驱动元件,该二个第二扭转臂具有一第二延伸方向,且该第二延伸方向平行于该第二轴方向;以及一镜面,设置于该第三透空部内,该镜面的两侧对称各设有一第三扭转臂连接于该内环驱动元件,且该二个第三扭转臂与该二个第二扭转臂同轴。
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