[发明专利]光学多环扫描元件

权利要求书

1.一种光学多环扫描元件，其特征在于，包含：

一基板，该基板具有一第一透空部，该基板具有相互垂直的一第一轴方向以及一第二轴方向；

一外环驱动元件，设置于该第一透空部内，且该外环驱动元件具有一第二透空部，该外环驱动元件两侧对称各设有一第一扭转臂连接于该基板，该二个第一扭转臂具有一第一延伸方向，且该第一延伸方向平行于该第一轴方向；

至少一内环驱动元件，其包括一第一内环驱动元件，该第一内环驱动元件设置于该第二透空部内，且该第一内环驱动元件具有一第三透空部，在该第一内环驱动元件的两侧对称各设有一第二扭转臂连接于该外环驱动元件，该二个第二扭转臂具有一第二延伸方向，且该第二延伸方向平行于该第二轴方向；以及

一镜面，设置于该第三透空部内，该镜面的两侧对称各设有一第三扭转臂连接于该内环驱动元件，且该二个第三扭转臂与该二个第二扭转臂同轴。

2.根据权利要求1所述的光学多环扫描元件，其特征在于，该基板的第一轴方向为慢轴，该第二轴方向为快轴。

3.根据权利要求1所述的光学多环扫描元件，其特征在于，该基板为一硅基板、金属基板、一玻璃基板或一电路板。

4.根据权利要求1所述的光学多环扫描元件，其特征在于，其采用电磁力、静电力、压电力及热电力为驱动力。

5.根据权利要求4所述的光学多环扫描元件，其特征在于，该电磁力为劳伦兹力或静磁力或以两种力分别驱动快慢轴。

6.根据权利要求1所述的光学多环扫描元件，其特征在于，该基板外部设有磁性相反的第一磁场以及第二磁场。

7.根据权利要求6所述的光学多环扫描元件，其特征在于，该第一磁场由至少一第一永久磁铁构成，该第二磁场由至少一第二永久磁铁构成，该第一永久磁铁与该第二永久磁铁的极性相反。

8.根据权利要求7所述的光学多环扫描元件，其特征在于，该第一永久磁铁及该第二永久磁铁的磁性方向平行于该第一轴方向。

9.根据权利要求7所述的光学多环扫描元件，其特征在于，该第一永久磁铁及该第二永久磁铁的磁性方向不平行也不垂直于该第一轴方向，且该第一永久磁铁及该第二永久磁铁的磁性方向不平行也不垂直于该第二轴方向。

10.根据权利要求1所述的光学多环扫描元件，其特征在于，该基板、外环驱动元件、第一内环驱动元件及镜面，及该第一扭转臂、第二扭转臂、第三扭转臂的材质均为硅。

11.根据权利要求10所述的光学多环扫描元件，其特征在于：

该外环驱动元件具有金属下电极导电层，且该外环驱动元件上设有电镀磁性材料，在该金属下电极导电层与该电镀磁性材料之间设有绝缘层；

该第一内环驱动元件具有金属下电极导电层，且该第一内环驱动元件设有电镀金属线圈，该金属下电极导电层与该电镀金属线圈之间设有绝缘层；

该二个第一扭转臂连接于该基板的一端分别设有一外部电性接口，该外部电性接口连接外部电流；

该外环驱动元件、该第一内环驱动元件及该镜面其中之一或其组合设有至少一导电孔，该外环驱动元件的金属下电极导电层与电镀磁性材料之间，以及该第一内环驱动元件的金属下电极导电层与电镀金属线圈之间，在该导电孔处形成电性导通；

通过该外环驱动元件的金属下电极导电层与电镀磁性材料、该第一内环驱动元件的金属下电极导电层与电镀金属线圈、该导电孔以及该绝缘层，提供该外环驱动元件、该第一内环驱动元件及该镜面与该二外部电性接口形成一电流行进路径而不致短路。

12.根据权利要求11所述的光学多环扫描元件，其特征在于，该电镀磁性材料为镍，或钴镍、铁镍、钴镍锰磷的磁性合金，该电镀金属线圈及金属下电极导电层为铜、铝、镍、金、银，该绝缘层为二氧化硅或氮化硅。