[发明专利]一种高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法无效
| 申请号： | 201010116609.7 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN101806508A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 张秀廷;刘雪莲;薛文;卢铁军;范兵;陈步亮 | 申请（专利权）人： | 北京天瑞星真空技术开发有限公司 |
| 主分类号： | F24J2/48 | 分类号： | F24J2/48;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京永创新实专利事务所 11121 | 代理人： | 周长琪 |
| 地址： | 100080 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，涂层从底层到表面依次为红外反射层、吸收层、减反射层，第一层红外反射层由Ti膜、Al膜或者TiAl合金膜之中的任何一种组成，厚度在50～250nm；第二层吸收层包括两个亚层结构，均为TiAlCN+TiAl膜，厚度均为50～100nm，第一亚层TiAl的体积百分比大于第二亚层TiAl的体积百分比；第三层减反射层由TiO2膜或者Al2O3膜中任何一种组成，厚度均为20～60nm。采用纯金属靶中频磁控溅射方法在基体表面制备红外发射层，采用金属Ti靶和Al靶中频磁控溅射方法在第一层上制备第二层吸收层，采用金属靶中频磁控溅射方法在第二层上制备第三层减。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 太阳能 选择性 吸收 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于，涂层包括三层膜，从基体到表面依次为红外反射层、吸收层和减反射层；第一层红外反射层由Ti膜、Al膜或者TiAl合金膜之中的任何一种组成，厚度在50～250nm；第二层吸收层包括两个亚层结构，两个亚层均为TiAlCN+TiAl膜，第一亚层和第二亚层的厚度均为50～100nm，第一亚层TiAl的体积百分比大于第二亚层TiAl的体积百分比；第三层减反射层由TiO2膜或者Al2O3膜中任何一种组成，厚度均为20～60nm。
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