[发明专利]太阳能晶圆快速检测系统

摘要

一种太阳能晶圆快速检测系统，是一种批次检测太阳能晶圆表面瑕疵与内裂缺陷系统，藉由一前置光源提供一光能照射于待测晶圆，晶圆受光照而反射光由一影像撷取装置将晶圆外表面的影像撷取，并与前置光源时序交错由一背光源照射一可供晶圆吸收的光谱成份波长的光能，利用晶圆吸收光能而至使该晶圆发光的原理，使该晶圆产生一漫射光，再由一滤光片过滤该漫射光使得晶圆区分出有漫射光谱的正常部份及没有漫射光谱的内裂部份，并由影像撷取装置将影像撷取，再由处理装置将内与外层影像资料加以判别出太阳能晶圆内层与外层瑕疵。

主权项

一种太阳能晶圆快速检测系统，供检测至少一片待测太阳能晶圆，其中该太阳能晶圆具有一个正面及一个背面，并具有一个已知吸收光谱及一个已知放射光谱；其特征在于，该检测系统包括：一个供照射该待测太阳能晶圆该正面的前置光源；一个供朝向该太阳能晶圆背面、与该前置光源时序交错地放射至少具有部分该太阳能晶圆吸收光谱波长成分光能，使该太阳能晶圆吸收该波长成分的光能、并释放该放射光谱至少部分波长成分光能的背光源；及一个可撷取该太阳能晶圆正面反射/漫射光、并可撷取对应该放射光谱上述至少部分波长范围光线的影像撷取装置。