[发明专利]太阳能晶圆快速检测系统

权利要求书

1.一种太阳能晶圆快速检测系统，供检测至少一片待测太阳能晶圆，其中该太阳能晶圆具有一个正面及一个背面，并具有一个已知吸收光谱及一个已知放射光谱；其特征在于，该检测系统包括：

一个供照射该待测太阳能晶圆该正面的前置光源；

一个供朝向该太阳能晶圆背面、与该前置光源时序交错地放射至少具有部分该太阳能晶圆吸收光谱波长成分光能，使该太阳能晶圆吸收该波长成分的光能、并释放该放射光谱至少部分波长成分光能的背光源；及

一个可撷取该太阳能晶圆正面反射/漫射光、并可撷取对应该放射光谱上述至少部分波长范围光线的影像撷取装置。

2.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，其中该影像撷取装置包括一具摄影机；及设置于该摄影机前方的至少一片供该太阳能晶圆放射光谱中的上述至少部分波长通过、并至少部分滤除外部杂光及该背光源所发光线的滤光片。

3.如权利要求2所述的检测系统，其特征在于，其中该影像撷取装置更包括一组依照撷取影像资料、将该滤光片移入/移出该摄影机的撷取影像光程的转换器。

4.如权利要求1、2或3所述的检测系统，其特征在于，其中该前置光源是一可见光源。

5.如权利要求1、2或3所述的检测系统，其特征在于，其中该背光源是一红外光源。

6.如权利要求1、2或3所述的检测系统，其特征在于，更包含一个接收该影像撷取装置撷取的影像资料并加以判读的处理装置。