[发明专利]一种快速提取版图关键面积的方法

摘要

本发明公开了一种快速提取版图关键面积的方法，包括提取版图信息、建立分块有序多级索引表、随机模拟生产工艺缺陷分析统计影响、利用分块有序多级索引表计算关键面积。本发明运用对集成电路版图的基本图形单元进行先分类后分层遍历版图树提取出所有与缺陷多边形重合的图形的方式在有效时间和空间范围内完成对深度与广度非常大的版图树中所有与缺陷多边形重合的图形的快速提取，计算出版图关键面积，并用于指导在实际集成电路生产中提高成品率。

主权项

一种快速提取版图关键面积的方法，包括：(1)提取版图数据特征，对基本图形单元按照polygon类和instance类进行分类，其中polygon为多边形，instance为多边形的聚合体；(2)若基本图形单元为polygon类：A、提取polygon类每个基本图形单元的位置和尺寸信息，并将polygon类基本图形单元划分成独立的层区，对于每个层区，建立层区索引表；B、依次对polygon类划分的每个层区利用分散度模型确定最佳分块方向，利用均衡模型寻找最适宜分块边界并划分块区，建立多边形区块索引表；(3)若基本图形单元为instance类：C、提取各instance的位置和尺寸信息，对各instance根据分散度模型确定分块方向，根据均衡模型寻找最适宜分块边界划分块区，并建立instance第一层块区索引表；D、对第一层各块区内的基本图形单元按照polygon类和instance类进行分类，对polygon类基本图形单元划分成独立的层区，建立各自的层区索引表，并对每个层区划分块区，建立各自的多边形区块索引表；对instance类递归处理，重复上述步骤，直到遍历所有层块区，完成instance类各层块区的多级索引表；(4)将得到的层区索引表、多边形区块索引表、第一层块区索引表、多级索引表综合建立最终的类区索引表；(5)随机模拟生产工艺的缺陷分析统计影响，利用建立的类区索引表提取版图关键面积。