[发明专利]处理液供给系统和处理液供给方法无效
| 申请号： | 201010103298.0 | 申请日： | 2010-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN101807005A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 植田稔彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种处理液供给系统和处理液供给方法。在对使用规定的处理液的装置供给存储在罐内的上述处理液的处理液供给系统中，在对上述装置供给处理液时也能对上述罐补充处理液，防止延长生产节拍时间。其包括：输出处理液的处理液存储罐；经由补充管路将用于补充到上述处理液存储罐的处理液供给到上述处理液存储罐的处理液补充部件；开闭上述补充管路的阀；将上述处理液存储罐内的压力调整为第一压力值的第一压力调整部件；将比上述阀更靠上述处理液补充部件侧的压力调整为高于上述第一压力值的第二压力值的第二压力调整部件，通过打开上述阀，从上述处理液存储罐对上述装置供给处理液，并从上述处理液补充部件对上述处理液存储罐供给处理液。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 供给 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种处理液供给系统，其用于对使用规定的处理液的装置供给上述处理液，其特征在于，包括：处理液存储罐，其用于存储上述处理液并对上述装置输出上述处理液；处理液补充部件，其能经由补充管路将用于补充到上述处理液存储罐的处理液供给到上述处理液存储罐中；阀，其用于接通、阻断上述补充管路；第一压力调整部件，其用于将上述处理液存储罐内的压力调整为第一压力值；第二压力调整部件，其用于将上述处理液补充部件的压力调整为高于上述第一压力值的第二压力值，该处理液供给系统通过打开上述阀，一边从上述处理液存储罐对上述装置供给处理液，一边从上述处理液补充部件对上述处理液存储罐供给处理液。
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