[发明专利]基于谐振腔稳频的绝对距离测量系统及实现方法

摘要

本发明涉及一种基于谐振腔稳频的绝对距离测量系统及实现方法，属于精密测量技术领域。该系统结合了激光器稳频技术、折射率测量技术、相位解缠技术、干涉测量技术，以及DSP信号处理和控制技术，采用模块化的设计方案，各部分相互独立，中间采用单模保偏光纤或数据线连接；根据误差来源设计了周期性相位非线性误差纠正和运动误差补偿算法，提高相位测量的准确性；采用多步相位计算的方法，提高相位计算的精度；采用实时折射率测量方案，克服空气折射率变化对测量精度的影响，增加了其应用领域。

主权项

一种基于谐振腔稳频的绝对距离测量系统，包括频率可调光源、稳频单元、频率监视单元、折射率实时测量电路、测量干涉光路，信号接收和处理单元，以及总体控制单元，其特征在于：所述的测量系统各模块自成体系，通过单模保偏光纤或者数据线连接，统一由DSP控制系统和电脑控制，光源发出的光由光束分离器进入稳频单元、频率监视单元和测量干涉光路，其中稳频单元和频率监视单元的信息反馈至激光器，调节激光器的波长，控制激光器频率调节的范围。