[发明专利]显影设备有效
| 申请号： | 201010001833.1 | 申请日： | 2010-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN101718963A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 李丰仲;李瑞光;林纬权;邓兆强 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03G15/10 | 分类号： | G03G15/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种显影设备，所述的显影设备包含一输送机构以及一定位柱。输送机构用以输送一基板，基板以一显影液进行显影。定位柱设置在输送机构的一侧，定位柱具有一突出结构，突出结构延伸至基板上方。在输送基板的过程中，突出结构会破坏显影液在基板上形成的表面张力，进而有效提高显影液的回收率。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 设备 | ||
【主权项】：
一种显影设备，其特征在于，所述的显影设备包含：一输送机构，用以输送一基板，所述的基板以一显影液进行显影；以及一定位柱，设置在所述的输送机构的一侧，所述的定位柱具有一突出结构，所述的突出结构延伸至所述的基板上方，以在所述的基板的输送过程中，破坏所述的显影液在所述的基板上形成的表面张力。
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