[发明专利]显影设备

说明书

技术领域

本发明关于一种显影设备，尤指一种可有效提高显影液回收率的显影设备。

背景技术

随着科技不断地进步，各式各样的电子装置，如行动电话、数字相机、个人数字助理、笔记型计算机等，无不朝向更便利、多功能且美观的方向发展。在使用这些电子装置时，显示屏幕是不可或缺的人机沟通接口，透过上述电子装置的显示屏幕将可为使用者的操作带来更多的便利。其中，液晶显示器已逐渐成为显示屏幕的主流。

一般而言，液晶显示器是利用基板上的晶体管，来控制液晶的光线明暗，让不同色彩显示在屏幕上。要在基板上形成可用的晶体管，便需要对基板重复进行清洗、镀膜、上光刻胶、曝光、显影、蚀刻、去光刻胶等过程。其中，显影制造工艺是将曝光好的基板放入显影液中，使曝到光的光刻胶被显影液给溶解掉。

一般而言，在基板显影完毕后，会将多余的显影液回收并重复利用，以节省生产成本。然而，在显影的过程中，显影液会在基板上形成表面张力，而使得显影液的回收率不佳，造成生产成本提高。

发明内容

因此，本发明的目的之一在于提供一种显影设备，其在定位柱上设有突出结构，以在基板的输送过程中，破坏显影液在基板上形成的表面张力。

根据一实施例，本发明的显影设备包含一输送机构以及一定位柱。输送机构用以输送一基板，基板以一显影液进行显影。定位柱成对设置在输送机构的两侧，定位柱具有一突出结构及一转动件，突出结构延伸至基板上方。在输送机构输送基板的过程中，突出结构会破坏显影液在基板上形成的表面张力，进而有效提高显影液的回收率。所述的突出结构自所述的转动件向外延伸，在所述的基板的输送过程中，所述的转动件会随着所述的显影液的流动而转动。

关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。

附图说明

图1为根据本发明一实施例的显影设备的上视图。

图2为图1中的显影设备的侧视图。

图3A和图3B为根据本发明另一实施例的定位柱的示意图，其中图3A为上视图，图3B为侧视图。

附图标号：

5             显影设备        7      基板

9             显影液          50     输送机构

52、52′      定位柱          520    转动件

522、522′    突出结构        g      间隙

t             厚度

具体实施方式

请参阅图1以及图2，图1为根据本发明一实施例的显影设备5的上视图，图2为图1中的显影设备5的侧视图。显影设备5用以对基板7进行显影制造工艺，显影制造工艺即是将曝光好的基板7放入显影液9中，使曝到光的光刻胶被显影液9给溶解掉。如图1与图2所示，显影设备5包含输送机构50以及定位柱52。输送机构50用以输送基板7，且基板7在显影设备5中以显影液9进行显影。显影液9可为氢氧化四甲铵(TetramethylammoniumHydroxide，TMAH)，但不以此为限。

于此实施例中，输送机构50是由多根平行排列的转轴所组成，通过驱动装置(未绘示于图中)驱动转轴转动，以将基板7往前输送。此外，八个定位柱52分别位于输送机构50的两侧。需说明的是，定位柱52的数量及设置位置可根据实际应用而调整，不以图中所绘示的为限。

定位柱52包含一转动件520以及一突出结构522，其中突出结构522自转动件520向外延伸。在基板7的输送过程中，转动件520会随着显影液9的流动而转动。于此实施例中，突出结构522可设计为放射状毛刷结构或放射状实心结构，如图1所示。请参阅图3A和图3B，图3A和图3B为根据本发明另一实施例的定位柱52′的示意图，其中图3A为上视图，且图3B为侧视图。于另一实施例中，定位柱52′的突出结构522′亦可设计为环状毛刷结构或环状实心结构，如图3A和图3B所示。需说明的是，本发明的定位柱的突出结构并不以上述的放射状或环状为限，可根据实际应用而设计。此外，突出结构522及突出结构522′由抗腐蚀性材料制成，以防止被显影液9腐蚀。

如图1所示，当基板7被放置在显影设备5中以进行显影时，突出结构522延伸至基板7的边缘上方。于此实施例中，突出结构522在基板7上的投影不超出基板7的一无效(dummy)区域。无效区域即是指基板7的非使用区域。此外，一间隙g介于突出结构522与基板7之间，亦即突出结构522不与基板7接触。较佳地，间隙g可设计为大于或等于3毫米，但不以此为限。