[发明专利]表面层形成方法及耐冲蚀部件的制造方法、以及蒸汽涡轮叶片

摘要

一种表面层形成方法，其由下述工序构成：向加工液(3)中配置部件(2)的工序；以及相对于该部件(2)，将Si电极(1)间隔规定间隙而配置，通过施加规定的电压，发生放电，从而从所述Si电极(1)向部件侧供给Si成分，形成含Si表面层的工序，所述Si电极(1)选定具有小于或等于0.005Ωcm的比电阻的部件，将大于或等于所述Si电极处的电压降与放电中的电弧电位相加后的值的值，设定为放电检测电平，通过反复进行下述动作(4、7、8)，从而在部件表面上形成含有Si的表面层，即：通过对电压降低至小于或等于该放电检测电平进行检测，从而对在Si电极(1)和部件(2)之间发生了放电这一情况进行检测，在放电发生后经过预先设定的规定时间后，停止电压施加，在间歇一定时间后，再次施加电压。

主权项

一种含Si表面层形成方法，其由下述工序构成：向加工液中配置部件的工序；以及相对于该部件，将Si电极间隔规定间隙而配置，通过施加规定的电压，发生放电，从而从所述Si电极向部件侧供给Si成分，形成含Si表面层的工序，该含Si表面层形成方法的特征在于，将放电检测电平的值设定为大于或等于所述Si电极处的电压降与放电中的电弧电位相加后的值，该放电检测电平用于根据施加在极间的电压低于该放电检测电平的值这一情况而识别为发生了放电，通过反复进行下述动作，从而在部件表面形成含有Si的表面层，即：电压施加后，通过对电压降低至小于或等于该放电检测电平进行检测，从而对在Si电极和部件之间发生了放电这一情况进行检测，在放电发生后经过预先设定的规定时间之后停止电压施加，间歇一定时间后，再次施加电压。