[发明专利]用于提供功率以在活性气体发生器中激发和维持等离子体的方法和装置有效
| 申请号： | 200980158583.8 | 申请日： | 2009-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102365705A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | S·本泽洛克;S·P·纳加拉卡迪;A·考韦;A·沙基;J·E·安布罗西纳;K·特兰;陈星 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 亓云 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了包括计算机程序产品的用于在活性气体发生器中激发和/或维持等离子体的方法和装置。从激发电源向等离子体激发电路提供功率。测量等离子体激发电路的预激发信号。基于测得的预激发信号与可调整的预激发控制信号之间的差异来调整提供给等离子体激发电路的功率。在经过一时段之后调整可调整的预激发控制信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 提供 功率 活性 气体 发生器 激发 维持 等离子体 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于在活性气体发生器中激发等离子体的方法，包括：从激发电源向等离子体激发电路提供功率；测量所述等离子体激发电路的预激发信号；基于测得的预激发信号与可调整的预激发控制信号之间的差异来调整提供给所述等离子体激发电路的功率；以及在经过一时段之后调整所述可调整的预激发控制信号。
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