[发明专利]打印头及其制造方法

摘要

本发明公开一种打印头，其包括至少一个墨滴产生器区域，所述墨滴产生器区域包括：墨液腔；孔口，墨滴通过所述孔口喷出；以及加热元件，位于墨液腔下面。所述加热元件包括限定在其中的电阻器和暴露于供应到墨液腔的墨液流体的纳米结构表面。所述纳米结构表面呈纳米柱阵列形式。通过下述方法制造所述打印头：形成加热元件，所述加热元件具有作为最上层的可氧化金属层；在可氧化金属层上形成含铝层；阳极化含铝层，以形成多孔氧化铝；阳极化可氧化金属层，从而用金属氧化物材料部分地填充多孔氧化铝中的孔隙；以及通过选择性蚀刻除去多孔氧化铝，以产生纳米结构表面。

主权项

一种打印头，包括至少一个墨滴产生器区域，所述墨滴产生器区域包括：墨液腔，用于容纳包含粒子的墨液流体；孔口，墨滴通过所述孔口喷出；以及加热元件，其形成在衬底上并且位于墨液腔之下，所述加热元件包括限定在其中的电阻器和暴露于供应到墨液腔的墨液流体的纳米结构表面，并且所述纳米结构表面呈金属氧化物纳米柱阵列形式，并且所述纳米柱被配置为使得它们之间的距离小于墨液流体中最小粒子的直径。