[发明专利]用于大面积等离子体加工的装置有效
| 申请号： | 200980156455.X | 申请日： | 2009-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN102318034A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | P·吉特蒂埃尼 | 申请（专利权）人： | 赫利森有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 金晓 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 根据本发明，一种用于大面积等离子体加工的装置包括至少一根平面天线(A)，具有多个互连的基本共振网孔(M1、M2、M3)，每一个网孔(M1、M2、M3)都包括至少两个导电引脚(1、2)和至少两个电容(5、6)。射频发生器将所述天线(A)激发为其共振频率中的至少一种。加工室靠近所述天线(A)。所述天线(A)生成的电磁场场型具有非常良好地限定的空间结构，这就允许很好地控制等离子体的激发。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 大面积 等离子体 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种用于等离子体加工的装置(50)，包括：a.至少一根平面天线(A)，b.激发所述天线(A)的至少一个射频发生器(20)，c.气体喷射系统(55)和扩散器，d.靠近所述天线(A)的加工室(51)，e.其中所述平面天线(A)包括多个互连的基本共振网孔(M1、M2、M3)，每一个网孔(M1、M2、M3)都包括至少两个导电引脚(1、2)和至少两个电容(5、6)，以使所述天线(A)具有多个共振频率，以及f.其中所述射频发生器(20)将所述天线(A)激发至其共振频率中的至少一个。
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