[发明专利]制造和加工过程中确定板位置的方法和装置无效
| 申请号： | 200980151569.5 | 申请日： | 2009-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102246000A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | X·陈;A·刘;周乃越 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种确定材料板的选定区域相对于基准平面的位置的方法，包括：在材料板的选定区域投射第一入射光束以使第一入射光束在第一位置和第一角度碰撞选定区域，由此产生第一反射光束。在材料板的选定区域投射第二入射光束以使第二入射光束在第二位置和第二角度碰撞选定区域，由此产生第二反射光束。第二位置和第二角度不同于第一位置和第一角度。在基准平面拦截第一反射光束和第二反射光束。接收关于拦截反射光束的位置和投射入射光束的角度的信息并将其与选定区域相对于基准平面的位置相关联。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 加工 过程 确定 位置 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种确定材料板选定区域相对于基准平面的位置的方法，包括：在材料板的选定区域投射第一入射光束，以使所述第一入射光束在第一位置并以第一角度碰撞选定区域，由此产生第一反射光束；在材料板的选定区域投射第二入射光束，以使第二入射光束在第二位置并以第二角度碰撞选定区域，由此产生第二反射光束，所述第二位置和第二角度分别不同于第一位置和第一角度；在基准平面拦截第一反射光束和第二反射光束；接收与拦截反射光束的位置和投射入射光束的角度相关的信息；以及将所述信息与所述选定区域相对于基准平面的位置相关联。
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