[发明专利]用于以提高的效率生成EUV辐射或软X射线的方法和装置有效
| 申请号： | 200980150671.3 | 申请日： | 2009-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102257883A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | J.琼克斯;F.A.凯珀;H.E.弗布拉克;J.W.内夫 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司;爱克斯特里姆科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李亚非;刘鹏 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种借助于电操作的放电生成光学辐射、特别是EUV辐射或软X射线的方法和装置。在至少两个电极(1,2)之间在气态介质中点燃等离子体(15)，其中所述气态介质至少部分地由液态材料(6)产生，液态材料被施加到在放电空间中移动的一个或几个表面上且至少部分地由一个或几个脉动能量束蒸发。在所提出的方法和装置中，在每次放电的时间间隔内，施加至少两个连续脉冲(9,18)到所述表面上。利用这种措施，与在每次放电内仅使用一个单能量脉冲相比，增加了可收集的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 提高 效率 生成 euv 辐射 射线 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于借助于电操作的放电生成光学辐射、特别是EUV辐射或软X射线的装置，包括‑至少两个电极(1, 2)，其彼此相距一定距离地布置于放电空间中，这允许在所述电极(1, 2)之间在气态介质中点燃等离子体(15)，‑用于向通过所述放电空间移动的一个或几个表面施加液态材料(6)的装置，以及‑能量束装置，其适于将一个或几个脉动能量束导向至所述表面上，至少部分地蒸发所述施加的液态材料(6)，由此产生所述气态介质的至少部分，‑其中所述能量束装置被设计成在每次放电的时间间隔内施加所述脉动能量束的至少两个连续脉冲(9, 18)到所述表面上。
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