[发明专利]用于以提高的效率生成EUV辐射或软X射线的方法和装置

权利要求书

1.一种用于借助于电操作的放电生成光学辐射、特别是EUV辐射或软X射线的装置，包括

-至少两个电极(1, 2)，其彼此相距一定距离地布置于放电空间中，这允许在所述电极(1, 2)之间在气态介质中点燃等离子体(15)，

-用于向通过所述放电空间移动的一个或几个表面施加液态材料(6)的装置，以及

-能量束装置，其适于将一个或几个脉动能量束导向至所述表面上，至少部分地蒸发所述施加的液态材料(6)，由此产生所述气态介质的至少部分，

-其中所述能量束装置被设计成在每次放电的时间间隔内施加所述脉动能量束的至少两个连续脉冲(9, 18)到所述表面上。

2.根据权利要求1所述的装置，

其中所述能量束装置被设计成以≤300ns的相互时间延迟来施加所述至少两个连续脉冲(9, 18)。

3.根据权利要求1所述的装置，

其中所述能量束装置被设计成在相对于所述表面的移动方向的不同横向位置施加每次放电的所述至少两个连续脉冲(9, 18)和/或至少两次不同放电的脉冲组。

4.根据权利要求3所述的装置，

其中所述能量束装置被设计成施加所述脉冲能量束的脉冲或脉冲组以在所述装置操作期间实现所述表面处冲击点(16)的周期性重复的图案(17)。

5.根据权利要求1所述的装置，

其中所述用于施加液态材料(6)的装置适于向所述电极(1, 2)中的至少一个的表面施加液态材料(6)，所述电极(1, 2)中的所述至少一个被设计为可在操作期间置为旋转的可旋转轮。

6.根据权利要求1所述的装置，

还包括辐射传感器和/或dI/dt探测器，所述辐射传感器被配置成测量所述生成的光学辐射的特征，所述dI/dt探测器用于确定由所述放电生成的快离子的量。

7.根据权利要求6所述的装置，

还包括控制单元，其连接到所述能量束装置且基于所测量的特征和/或所确定的快离子的量来控制所述两个连续脉冲(9, 18)之间的时间延迟。

8.根据权利要求7所述的装置，

其中所述控制单元被设计成控制所述两个连续脉冲(9, 18)之间的时间延迟以实现最大EUV输出和/或由所述放电生成的快离子的最小量。

9.一种借助于电操作的放电生成光学辐射、特别是EUV辐射或软X射线的方法，其中

-在放电空间中至少两个电极(1, 2)之间在气态介质中点燃等离子体(15)，所述等离子体(15)发出待生成的所述辐射，

-其中所述气态介质至少部分地由液态材料(6)产生，所述液态材料(6)被施加到在所述放电空间中移动的一个或几个表面上且至少部分地由一个或几个脉动能量束蒸发；以及

-其中在每次放电的时间间隔内施加所述脉动能量束的至少两个连续脉冲(9, 18)到所述表面上。

10.根据权利要求9所述的方法，

其中以≤300ns的相互时间延迟来施加所述至少两个连续脉冲(9, 18)。

11.根据权利要求9所述的方法，

其中在相对于所述表面的移动方向的不同横向位置施加每次放电的所述至少两个连续脉冲(9, 18)和/或至少两次不同放电的脉冲组。

12.根据权利要求11所述的方法，

其中向所述表面施加所述脉动能量束的脉冲或脉冲组使得在所述表面的移动期间在所述表面处实现冲击点(16)的周期性重复的图案(17)。

13.根据权利要求9所述的方法，

其中检测所述生成的光学辐射的特征和/或由所述放电生成的快离子的量且基于所述检测的测量数据控制两个连续脉冲(9, 18)之间的时间延迟。

14.根据权利要求13所述的方法，

其中控制所述两个连续脉冲(9, 18)之间的时间延迟以实现最大EUV输出和/或快离子的最小量。

15.根据权利要求9所述的方法，

其中所述电极(1, 2)中的至少一个在操作期间被置为旋转，所述液态材料(6)被施加到所述电极(1, 2)中的所述至少一个的表面。