[发明专利]用于局部区域导航的高精确度射束放置

摘要

一种在半导体芯片制造领域中用于局部区域导航的高精确度射束放置的改进方法。本发明举例说明一种其中甚至在工作台/导航系统不能正常地进行到相对较大的局部区域（例如，区域200μm×200μm）内的感兴趣位点的高精确度导航的情况下也有可能进行此类高精确度导航的方法。大的区域、高分辨率扫描、数字变焦和图像到理想化坐标系的配准的组合使得能够在不依赖于工作台移动的情况下在局部区域周围实现导航。一旦获取了图像，则任何样本或射束漂移将不影响对准。优选实施例因此允许具有低于100nm精确度的到样本上的位点的精确导航，甚至在没有高精确度工作台/导航系统的情况下。

主权项

一种用于到样本表面上的局部区域内的感兴趣特征的高精确度射束放置和导航的方法，包括： 将样本加载到粒子束系统中； 使用第一视场来获取样本表面上的局部区域的第一图像，该第一视场足够大以保证感兴趣特征的位置被包括在图像中，基于其来考虑成像系统的精确度，第一图像包括感兴趣特征的位置和在感兴趣特征附近的一个或多个对准点，并且所述第一图像还具有使得图像像素尺寸等于或小于对准点的分辨率； 将坐标系覆盖图叠加在第一图像上，该坐标系覆盖图表示样本表面上的特征的理想化坐标； 使用第一图像中的多个对准点和坐标系覆盖图中的相应理想化元素使第一图像与坐标系配准； 在图像和坐标系已被配准之后，使用来自坐标系的已知坐标导航到所获取的第一图像中的感兴趣特征的位置； 识别第一图像中的一个或多个传递基准，其中，所述传递基准包括能够被容易地识别的样本表面上的唯一可见特征； 记录传递基准与感兴趣特征之间的偏移； 使用第二视场来获取样本表面的第二图像，所述第二视场小于第一视场且包括感兴趣特征和所述一个或多个传递基准； 识别第二图像中的所述一个或多个传递基准； 使用传递基准与感兴趣特征之间的记录偏移来精确地导航到感兴趣特征的位置。