[发明专利]用具有稀疏图案的掩模进行激光烧蚀加工

摘要

本发明公开了一种用于通过激光烧蚀方法在基底上成像的具有稀疏图案的掩模。所述掩模具有多个透光的孔以及所述孔周围的不透光区域。所述孔单独地形成完整图案的一部分，当用所述掩模成像时，一个或多个掩模的多个孔一起形成所述完整图案。将掩模制成具有稀疏图案的形式可以提供在所述激光烧蚀过程中从所述基底上移除碎片的路径。多个交错的稀疏重复图案可以形成重复距离大于所述单个图案的更为复杂的图案。

主权项

一种用于在基底上激光成像的具有稀疏图案的掩模，包括：掩模，所述掩模具有透光的孔和所述孔周围的不透光区域，其中所述孔单独地形成完整图案的一部分，并且所述不透光区域的至少一部分在所述掩模上位于所述孔之间的与所述基底上的非成像区域对应的区域内，随后用所述孔在所述非成像区域上成像，以形成所述完整图案。