[发明专利]用于运行静电驱动装置的方法和静电驱动装置

摘要

本发明涉及一种用于运行静电驱动装置的方法，该静电驱动装置具有定子电极(50)和致动器电极(52)，它们由多层电极构成，其中该致动器电极(52)在其无电压的初始位置中在定子电极子单元(50b，50c)与致动器电极子单元(52b，52c)之间没有施加电压的情况下这样相对于定子电极(50)设置，使得第一致动器电极子单元(52b)比第二致动器电极子单元(52c)具有更小的至第一定子电极子单元(50b)的距离，具有步骤：通过将第一电位(∏1)施加到第一定子电极子单元(50b)上并且将与第一电位(∏1)不同的第二电位(∏2)施加到第一致动器电极子单元(52b)上，并且将不同于第一电位(∏1)和第二电位(∏2)的第三电位(∏3)施加到第二定子电极子单元(50c)和第二致动器电极子单元(52c)上，使致动器电极(52)相对于定子电极(50)从其无电压的初始位置预偏移到第一终端位置。

主权项

用于运行静电驱动装置的方法，所述静电驱动装置具有定子电极(50)和致动器电极(52)，它们这样构造为多层电极，使得至少一个第一隔离层(50a)将所述定子电极(50)分成至少一个第一定子电极子单元(50b)和一个第二定子电极子单元(50c)并且至少一个第二隔离层(52a)将所述致动器电极(52)分成至少一个第一致动器电极子单元(52b)和一个第二致动器电极子单元(52c)，其中，所述致动器电极(52)在其无电压的初始位置中在定子电极子单元(50b，50c)与致动器电极子单元(52b，52c)之间没有施加电压的情况下这样相对于所述定子电极(50)设置，使得所述第一致动器电极子单元(52b)比所述第二致动器电极子单元(52c)具有更小的至所述第一定子电极子单元(50b)的距离，该方法具有以下步骤：通过将第一电位(∏1)施加到所述第一定子电极子单元(50b)上并且将一与第一电位(∏1)不同的第二电位(∏2)施加到所述第一致动器电极子单元(52b)上，并且将一与第一电位(∏1)和第二电位(∏2)不同的第三电位(∏3)施加到所述第二定子电极子单元(50c)和所述第二致动器电极子单元(52c)上，使所述致动器电极(52)相对于所述定子电极(50)从其无电压的初始位置预偏移到第一终端位置中。