[发明专利]用于运行静电驱动装置的方法和静电驱动装置

权利要求书

1.用于运行静电驱动装置的方法，所述静电驱动装置具有定子电极(50)和致动器电极(52)，它们这样构造为多层电极，使得至少一个第一隔离层(50a)将所述定子电极(50)分成至少一个第一定子电极子单元(50b)和一个第二定子电极子单元(50c)并且至少一个第二隔离层(52a)将所述致动器电极(52)分成至少一个第一致动器电极子单元(52b)和一个第二致动器电极子单元(52c)，其中，所述致动器电极(52)在其无电压的初始位置中在定子电极子单元(50b，50c)与致动器电极子单元(52b，52c)之间没有施加电压的情况下这样相对于所述定子电极(50)设置，使得所述第一致动器电极子单元(52b)比所述第二致动器电极子单元(52c)具有更小的至所述第一定子电极子单元(50b)的距离，该方法具有以下步骤：

通过将第一电位(∏1)施加到所述第一定子电极子单元(50b)上并且将一与第一电位(∏1)不同的第二电位(∏2)施加到所述第一致动器电极子单元(52b)上，并且将一与第一电位(∏1)和第二电位(∏2)不同的第三电位(∏3)施加到所述第二定子电极子单元(50c)和所述第二致动器电极子单元(52c)上，使所述致动器电极(52)相对于所述定子电极(50)从其无电压的初始位置预偏移到第一终端位置中。

2.如权利要求1所述的方法，其中，通过将位于施加到所述第一定子电极子单元(50b)上的第一电位(∏1)与施加到所述第二定子电极子单元(50c)和所述第二致动器电极子单元(52c)上的第三电位(∏3)之间的范围中的第二电位(∏2)施加到所述第一致动器电极子单元(52b)上，使所述致动器电极(52)相对于所述定子电极(50)在第一方向(58a)上预偏移，所述第一致动器电极子单元(52b)相对于所述第二隔离层(52a)位于该第一方向上。

3.如权利要求1所述的方法，其中，通过将位于施加到所述第一致动器电极子单元(52b)上的第二电位(∏2)与施加到所述第二定子电极子单元(50c)和所述第二致动器电极子单元(52c)上的第三电位(∏3)之间的范围中的第一电位(∏1)施加到所述第一定子电极子单元(52b)上，使所述致动器电极(52)相对于所述定子电极(50)在第二方向(58b)上预偏移，所述第二致动器电极子单元(52c)相对于所述第二隔离层(52a)位于该第二方向上。

4.如上述权利要求中任一项所述的方法，其中，通过减小施加到所述第一定子电极子单元(50b)上的第一电位(∏1)与施加到所述第一致动器电极子单元(52b)上的第二电位(∏2)之间的差，使所述致动器电极(52)相对于所述定子电极(50)从第一终端位置继续偏移到第二终端位置中。

5.如上述权利要求中任一项所述的方法，其中，通过使施加到所述第一定子电极子单元(50b)上的第一电位(∏1)与施加到所述第一致动器电极子单元(52b)上的第二电位(∏2)相等并且增加施加到所述第二定子电极子单元(50c)和所述第二致动器电极子单元(52c)上的第三电位(∏3)与施加到所述第一定子电极子单元(50b)上的第一电位(∏1)之间的差，使所述致动器电极(52)相对于所述定子电极(50)从第二终端位置继续偏移到第三终端位置中。