[发明专利]制造氧化物超导薄膜的方法有效
| 申请号： | 200980132616.1 | 申请日： | 2009-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN102132359A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 本田元气;种子田贤宏;加藤武志 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社;财团法人国际超电导产业技术研究中心 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B12/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈海涛;樊卫民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制造氧化物超导薄膜的方法，所述氧化物超导薄膜用于超导线材的制造。在所述方法中，利用无氟的金属有机化合物作为原料，通过涂布热解法制造所述氧化物超导薄膜。在用于结晶热处理的烧结热处理(S20)之前，进行中间热处理(S10)，所述中间热处理(S10)对经受所述烧结热处理(S20)前的薄膜中所含的碳酸盐进行分解。所述中间热处理(S10)可以在二氧化碳浓度为10ppm以下的气氛中进行。所述金属有机化合物可以是包括β-二酮络合物的金属有机化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 氧化物 超导 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种制造氧化物超导薄膜的方法，所述方法利用无氟的金属有机化合物作为原料，通过涂布热解法制造所述氧化物超导薄膜，所述氧化物超导薄膜用于超导线材的制造，所述方法包括：进行中间热处理的步骤(S10)，对经受烧结热处理前的薄膜中所含的碳酸盐进行热解；以及对已经经受所述中间热处理的所述薄膜进行用于结晶热处理的所述烧结热处理的步骤(S20)。
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