[发明专利]装置的制造方法无效
申请号: | 200980130768.8 | 申请日: | 2009-06-15 |
公开(公告)号: | CN102113413A | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 白泽信彦;藤森茂雄 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | H05B33/10 | 分类号: | H05B33/10;H01L21/02;H01L21/336;H01L21/363;H01L27/12;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/40;H01L51/50 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种装置的制造方法,所述制造方法包括以下工序:涂布工序,将涂布时为溶剂可溶性、涂布后能够转化为装置构成材料的前体材料涂布到施主基板上;转化工序,将上述前体材料转化为装置构成材料;转印工序,将上述施主基板上的材料转印到装置基板上。通过上述的装置的制备方法,能够制造元件特性与利用蒸镀方式制备的装置的特性相同、且适合大型化的装置。 | ||
搜索关键词: | 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种装置的制造方法,所述制造方法包括下述工序:涂布工序,将涂布时为溶剂可溶性、涂布后能够转化为装置构成材料的前体材料涂布到施主基板上;转化工序,将所述前体材料转化为装置构成材料;转印工序,将所述施主基板上的材料转印到装置基板上。
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