[发明专利]夹持式喷淋头电极总成

摘要

用于半导体基板加工的等离子体反应室的电极总成。所述总成包括上喷淋头电极，所述上喷淋头电极包括通过夹持环机械紧靠在垫板上的内电极和通过一系列间隔布置的凸轮锁紧靠在所述垫板上的外电极。保护环环绕所述垫板，并可移动至使所述保护环上的开口对准所述垫板上的开口的位置，从而能够使用工具旋转所述凸轮锁拆卸凸轮销，所述凸轮销从所述外电极的上表面向上延伸。为容纳热膨胀的差异，所述夹持环可包括位于间隔位置的膨胀部分，所述膨胀部分使所述夹持环能够吸收热应力。

主权项

喷淋头电极总成，其中所述喷淋头电极构成电容耦合等离子处理室的上电极，其包括：垫板，所述垫板具有在其上、下表面之间延伸的气体通道；夹持环，所述夹持环具有法兰和阶梯孔，所述法兰向内延伸，所述阶梯孔配置为容纳紧固件，所述紧固件与所述垫板的所述下表面中的螺纹开口相啮合；喷淋头电极，所述喷淋头电极包括圆形板，所述板具有位于下表面的等离子体暴露面；位于上表面的安装面；内表面，所述内表面包括在所述板外周的台阶，所述台阶被配置为与所述夹持环的所述向内延伸的法兰配合；所述板包括按图案排列的加工气体出口，所述图案与所述垫板上的所述气体通道相匹配；以及压缩环，所述压缩环位于所述夹持环法兰和所述喷淋头电极的台阶的相对表面之间；螺旋顶，所述螺旋顶安装在所述垫板的下表面，可旋转所述螺旋顶使环形法兰在所述螺旋顶上向所述内电极的所述上表面移动，从而在所述内电极的拆卸过程中将所述内电极从所述垫板上分离。