[发明专利]薄膜制造方法和可在该方法中使用的硅材料有效
| 申请号： | 200980125968.4 | 申请日： | 2009-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN102084022A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 神山游马;本田和义;篠川泰治 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 使从蒸发源(9)飞来的粒子在真空中的规定的成膜位置(33)沉积于基板(21)上使得在基板(21)上形成薄膜。在使含有薄膜的原料的块状材料(32)在蒸发源(9)的上方熔化的同时，将熔化了的材料以液滴(14)的形式向蒸发源(9)供给。作为块状材料(32)，使用内包有多个孔隙的硅材料(32)。优选孔隙具有比大气压低的平均内部压力。更优选平均内部压力为0.1大气压以下。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 制造 方法 使用 材料 | ||
【主权项】：
一种薄膜制造方法，其特征在于，包括：使从蒸发源飞来的粒子在真空中的规定的成膜位置沉积于基板上使得在所述基板上形成薄膜的工序；和在使含有所述薄膜的原料的块状材料在所述蒸发源的上方熔化的同时，将熔化了的所述材料以液滴的形式供给至所述蒸发源的工序，作为所述块状材料，使用内包有多个孔隙的硅材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980125968.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：照明装置
- 下一篇：发酵含木素纤维素材料
- 同类专利
- 专利分类
