[发明专利]用于离子注入系统的减速后的磁性能量过滤器有效
| 申请号： | 200980123998.1 | 申请日： | 2009-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN102067268A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·瑞丁;马文·法利;博·范登伯格;西奥多·史密克;高尾坂濑 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/05 | 分类号： | H01J37/05;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于在离子注入工件(228)期间磁性过滤离子束(210)的系统(200)及方法，其中从离子源(212)发射离子且加速离子使其远离离子源以形成离子束。离子束由质谱仪(214)进行质量分析，其中离子是选定的。一旦离子束进行质量分析，离子束接着通过减速器(242)被减速，且在减速的下游进一步磁性过滤离子束。磁性过滤由四极磁性能量过滤器(250)提供，其中形成磁场，用于截取离开减速器的离子束中的离子，以选择性地过滤不想要的离子和快速中性粒子(264)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子 注入 系统 减速 磁性 能量 过滤器 | ||
【主权项】：
一种用于将离子注入工件的离子注入系统，所述离子注入系统包括：终端站，其中所述工件大致位于所述终端站中；用于发射离子的离子源：质谱仪，所述质谱仪被构造成用于对所述离子进行质量分析且限定离子束；减速器，所述减速器位于所述质谱仪的下游以使所述离子束减速；和四极磁性能量过滤设备，所述四极磁性能量过滤设备在所述工件之前定位在所述减速器的下游，其中所述四极磁性能量过滤器从所述离子束中过滤出中性离子。
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