[发明专利]涂覆系统以及用于涂覆衬底的方法

摘要

涂覆系统(1)包括传入室(3)和传出室(4)。此外，涂覆系统包括与传入室(3)和传出室(4)连接的第一传输室(5)。在传输室(5)中，布置了第一可转动传输模块(6)。衬底保持器(7a，7b)可绕中心轴转动，使得衬底保持器(7a，7b)可被放置为分别与传入室(3)和传出室(4)对准。涂覆工作台(1)还包括第一处理室(8)和第二处理室(9)，此外，涂覆系统(1)包括具有第二可转动传输模块(11)的第二传输室(10)，第二可转动传输模块包括第三衬底保持器(12a)和第四衬底保持器(12b)。第二传输室被连接到第一处理室(8)和第二处理室(9)以及第三处理室(13)和第四处理室(14)。第三处理室(13)和第四处理室(14)被布置成在第二传输室(10)处并联，即类似于群集布局。本发明提供了通过如下所述的三明治布局来增加系统的可用性的可能性：两个并联涂覆室(8，9)在两个传输室(5，10)之间被分别布置在前进路径(F)和返回路径(R)上，其中所述两个传输室被配置为将衬底从前进路径(F)传送到返回路径(R)并且反之亦可。

主权项

一种涂覆系统(1)，用于对衬底进行处理，并包括：室布局，所述室布局包括第一处理室(5)以及第二处理室(9)；其中，所述第一处理室(8)被布置在所述涂覆系统(1)的串联部分的前进路径(F)上，并且所述第二处理室(9)被布置在所述涂覆系统(2)的串联部分的返回路径(R)上，所述涂覆系统的特征在于所述第一处理室(8)以及所述第二处理室(9)两者都被布置在第一传输室(5)和第二传输室(10)之间，所述第一传输室(5)和所述第二传输室(10)被配置为将衬底从所述第一串联部分的所述前进路径(F)传送到所述第二串联部分的所述返回路径(R)并且反之亦可。