[发明专利]电子部件制造用的切片装置及切片方法无效
申请号: | 200980120622.5 | 申请日: | 2009-06-09 |
公开(公告)号: | CN102047399A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 东秀和;森泽匡史 | 申请(专利权)人: | 东和株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种将已密封基板切片来制造电子部件的电子部件制造用的切片装置及切片方法,从而能够依照使用者的要求规格,在短时间实现切片部的组装、变更、增设、拆卸。电子部件的切片装置(S1)具备承接部(A)、切片部(B1、B2)与送出部(C)。切片部(B1、B2)均具有作为切断机构的旋转刀(7),可分别相对于其他切片部(B1、B2)或作为其他构成要素的承接部(A)或送出部(C)拆装自如,依照使用者的要求规格适当选择而进行组装、变更、增设、拆卸。切片部(B1、B2)所具有的切断机构并不限于使用旋转刀(7),也可以使用水刀、激光、线锯或带锯。切片部(B1、B2)的切断机构可以是不同种类。例如,切片部(B1)的切断机构使用水刀,而切片部(B2)的切断机构使用旋转刀(7)。 | ||
搜索关键词: | 电子 部件 制造 切片 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种电子部件制造用的切片装置,其在将已密封基板按设于基板上的多个区域的各区域切片来制造多个电子部件时使用,所述已密封基板通过对分别安装于设在基板上的多个所述区域的芯片进行树脂密封而形成,所述电子部件制造用的切片装置具备:承接已密封基板的承接部;局部地切削已密封基板而将已密封基板切断成单片或通过割断而成单片的切片部;以及将由该切片部加工后的多个电子部件送出的送出部,所述电子部件制造用的切片装置的特征在于,在所述承接部与所述送出部之间设有多个所述切片部,多个所述切片部的各切片部相对于其他切片部、所述承接部或所述送出部能够拆装且能够更换。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造