[发明专利]被加工件的表面保护方法和临时固定方法有效
| 申请号： | 200980117146.1 | 申请日： | 2009-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN102026807A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 中岛刚介;南云贵之;大岛和宏 | 申请（专利权）人： | 电气化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B32B37/00 | 分类号： | B32B37/00;B24B1/00;B32B27/30;H01L21/301;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;赵曦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供即使进行切割等加工，保护膜也不脱落的表面保护方法。在被加工件的表面层合保护膜的被加工件的表面保护方法，其特征在于，具有以下工序：在被加工件的表面层合由固化体构成的保护膜的层合工序，该固化体由含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)单官能(甲基)丙烯酸酯和(C)光聚合引发剂的固化性组合物形成；在层合工序后在80～150℃进行加热处理的加热工序；以及加热工序后对被加工件进行加工的加工工序。此外，上述保护膜优选含有(D)具有环戊二烯骨架的树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 表面 保护 方法 临时 固定 | ||
【主权项】：
在被加工件的表面层合保护膜的被加工件的表面保护方法，其特征在于，具有以下工序：在被加工件的表面层合由固化体构成的保护膜的层合工序，该固化体由含有下述(A)、(B)和(C)的固化性组合物形成；在层合工序后在80～150℃进行加热处理的加热工序；以及在加热工序后对被加工件进行加工的加工工序，(A)多官能(甲基)丙烯酸酯(B)单官能(甲基)丙烯酸酯(C)光聚合引发剂。
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