[发明专利]晶圆透镜聚合体的制造方法及晶圆透镜的制造方法

摘要

为了提供一种能够可靠地粘结晶圆透镜和隔离件的晶圆透镜聚合体的制造方法，晶圆透镜聚合体备有：至少在一面上设置了多个固化性树脂光学部件的第1基板；与第1基板接合的第2基板；被设在第1基板和第2基板之间的光阑部件；通过光固化性树脂粘结剂第1基板和第2基板制造晶圆透镜聚合体，作为其制造方法，备有：在接合部分涂布光固化性树脂粘结剂的粘结剂涂布工序；形成光阑部件的工序；在光阑部件形成工序后，对在粘结剂涂布工序涂布的粘结剂照光使所述粘结剂的固化进展的光固化工序；其中，光阑部件被形成为不妨碍在光固化工序照射的光到达粘结剂。

主权项

一种晶圆透镜聚合体的制造方法，晶圆透镜聚合体备有：第1基板，其具有正面和反面，在所述正面和反面的至少一个面上设固化性树脂的多个光学部件；第2基板，被接合在所述第1基板的正面或反面；光阑部件，被设置在所述第1基板和所述第2基板之间，对所述光学部件调整入射光量；所述第1基板和所述第2基板通过光固化性树脂粘结剂接合，晶圆透镜聚合体制造方法的特征在于，备有下述各工序：粘结剂涂布工序，在所述第1基板的与所述第2基板接合的接合部上或所述第2基板的与所述第1基板接合的接合部上，涂布光固化性树脂粘结剂；光阑部件形成工序，在所述第1基板和所述第2基板之间形成光阑部件；光固化工序，在所述光阑部件形成工序之后，对在所述粘结剂涂布工序涂布的粘结剂照射光，使所述粘结剂的固化进展；其中，所述光阑部件被形成在不妨碍所述光固化工序照射的光到达所述粘结剂的位置上。