[发明专利]模具的加工方法和制造方法无效
| 申请号: | 200980107709.9 | 申请日: | 2009-03-04 |
| 公开(公告)号: | CN101959663A | 公开(公告)日: | 2011-01-26 |
| 发明(设计)人: | 宇佐美由久 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号: | B29C33/38 | 分类号: | B29C33/38;B29C45/26;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/36;G03F7/40;B29L11/00 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 柳春琦 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 一种模具(1)的加工方法,以在形成于模具(1)上的产品形成表面(11)上形成凹部图案(13),该方法包括:光致抗蚀剂形成步骤,其中在产品形成表面(11)上形成可热变形热模式光致抗蚀剂层(12);激光束照射步骤,其中通过内置有半导体激光器的曝光装置将激光束施加于所述光致抗蚀剂层(12),以形成凹部图案(13);和凹凸形成步骤,其中通过使用所述凹部图案(13)在所述产品形成表面(11)上形成凹凸。 | ||
| 搜索关键词: | 模具 加工 方法 制造 | ||
【主权项】:
一种模具的加工方法,该方法包括:光致抗蚀剂形成步骤,其在产品形成表面上形成可热变形热模式光致抗蚀剂层,所述产品形成表面包括弯曲表面并且形成在所述模具上;激光束照射步骤,其通过内置有半导体激光器的曝光装置将激光束施加于所述光致抗蚀剂层,以形成凹部图案;和凹凸形成步骤,其通过使用所述凹部图案在所述产品形成表面上形成凹凸。
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