[发明专利]模具的加工方法和制造方法

权利要求书

1.一种模具的加工方法，该方法包括：

光致抗蚀剂形成步骤，其在产品形成表面上形成可热变形热模式光致抗蚀剂层，所述产品形成表面包括弯曲表面并且形成在所述模具上；

激光束照射步骤，其通过内置有半导体激光器的曝光装置将激光束施加于所述光致抗蚀剂层，以形成凹部图案；和

凹凸形成步骤，其通过使用所述凹部图案在所述产品形成表面上形成凹凸。

2.根据权利要求1所述的模具的加工方法，其中所述激光束照射步骤包括：

根据所述产品形成表面的角度改变发射所述激光束的头的取向，从而使得覆盖所述产品形成表面的所述光致抗蚀剂层的表面与光轴彼此垂直，所述激光束是沿着所述光轴行进的。

3.根据权利要求1所述的模具的加工方法，其中所述凹凸形成步骤包括：

在所述产品形成表面和所述光致抗蚀剂层的外表面上形成金属材料膜，之后移除所述光致抗蚀剂层，从而在所述产品形成表面上形成所述凹凸。

4.根据权利要求1所述的模具的加工方法，其中所述凹凸形成步骤包括：

将所述模具放入镀浴中，使镀膜在所述产品形成表面上生长，之后移除所述光致抗蚀剂层，从而在所述产品形成表面上形成所述凹凸。

5.根据权利要求1所述的模具的加工方法，其中所述凹凸形成步骤包括：

使用在所述产品形成表面上剩余的所述光致抗蚀剂层作为掩模进行刻蚀，之后移除所述光致抗蚀剂层，从而在所述产品形成表面上形成所述凹凸。

6.根据权利要求1所述的模具的加工方法，其中所述凹凸形成步骤包括：

在所述产品形成表面和所述光致抗蚀剂层的外表面上连续形成金属材料膜，从而在所述产品形成表面上形成所述凹凸。

7.根据权利要求1所述的模具的加工方法，其中所述激光束照射步骤包括：

实施聚焦伺服控制，使得将所述激光束聚焦在相对于所述光致抗蚀剂层的预定位置上。

8.根据权利要求1所述的模具的加工方法，其中所述激光束照射步骤包括：

使发射所述激光束的头和所述模具相对于彼此的移动沿所述凹进的产品形成表面发生。

9.根据权利要求1所述的模具的加工方法，其中所述凹部图案具有1微米以下的宽度。

10.一种模具的制造方法，其中通过采用根据权利要求1-9中任何一项所述的加工方法制造所述模具。

11.一种光学部件的制造方法，其中使用由根据权利要求10所述的制造方法制造的模具通过注塑制造所述光学部件。