[发明专利]尖顶型探头制造方法、尖顶型探头和尖顶型探头制造装置

摘要

本发明提供一种尖顶型探头制造方法，其能够容易且高效率地制造出尖顶型探头。关于在由顶面和侧面构成的锥台的所述侧面上具有金属膜的尖顶型探头的制造方法，该尖顶型探头制造方法包括以下工序：将形状与所述顶面相似的蚀刻掩模形成在基板上的工序；通过以所述蚀刻掩模为掩模部件对所述基板进行各向同性蚀刻来形成所述锥台的工序；在所述顶面的面积小于所述蚀刻掩模的面积后停止所述各向同性蚀刻的工序；以及通过使成膜粒子蔓延到所述蚀刻掩模和所述侧面之间来形成所述金属膜的工序。

主权项

一种尖顶型探头制造方法，其是用于制造尖顶型探头的尖顶型探头制造方法，在所述尖顶型探头中，在由顶面和侧面构成的锥台的所述侧面上具有金属膜，并且从所述顶面生成近场，所述尖顶型探头制造方法的特征在于，该尖顶型探头制造方法包括以下工序：将形状与所述顶面相似的蚀刻掩模形成在基板上的工序；通过使用所述蚀刻掩模对所述基板进行各向同性蚀刻来形成所述锥台的工序；在所述顶面的面积达到能够生成所述近场的面积的情况下停止所述各向同性蚀刻的工序；以及通过使成膜粒子蔓延到所述蚀刻掩模和所述侧面之间并附着于所述锥台来形成所述金属膜的工序。