[发明专利]用于测量和表征干涉式调制器的方法无效
| 申请号： | 200980104857.5 | 申请日： | 2009-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN101945818A | 公开（公告）日： | 2011-01-12 |
| 发明（设计）人： | 阿洛科·戈维尔;马克·米尼亚尔;卡斯拉·哈泽尼 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 宋献涛 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述用以表征干涉式调制器或类似装置的各种方法。干涉式调制器上测得的电压可用于表征所述干涉式调制器的转变电压。可通过测得的电流的积分来分析测得的电流以提供所述干涉式调制器的动态响应的指示。可使用频率分析来提供所述干涉式调制器的滞后窗或所述干涉式调制器的机械性质的指示。可通过信号相关来确定电容，且可使用扩展频谱分析来使噪声或干扰对各种干涉式调制器参数的测量的影响最小化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 表征 干涉 调制器 方法 | ||
【主权项】：
一种表征微机电系统(MEMS)装置的行为的方法，所述方法包括：向所述MEMS装置施加驱动电压信号，其中所述MEMS装置包括可移动层；测量依据时间而变的经过所述MEMS装置的电流；将所述电流对一时间周期积分；以及基于所述所积分的电流确定所述MEMS装置的操作特性。
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